120k Ultraschallfotoresistente Sprühbeschichtungsmaschine mit externer Flüssigkeitszufuhr

120k Ultraschall-Fotolack-Sprühbeschichtungsmaschine mit externer Flüssigkeitszufuhr

Die Fotolack-Zerstäubungssprühbeschichtung ist ein Kernprozess in der Halbleiterfertigung für die präzise Fotolackbeschichtung. Das Schlüsselprinzip besteht darin, Fotolack durch Zerstäubungstechnologie in winzige Tröpfchen umzuwandeln, die dann gleichmäßig auf der Waferoberfläche abgeschieden werden und die Beschichtungsanforderungen von hochpräzisen, großformatigen Wafern erfüllen.

Kernprinzip: Flüssiger Fotolack wird mittels Hochdruckgasstrom oder Ultraschallvibration in gleichmäßige Tröpfchen im Nano- bis Mikrometerbereich zerstäubt.

Die zerstäubten Tröpfchen werden dann durch einen gerichteten Gasstrom transportiert und bilden eine dünne und gleichmäßige Beschichtung auf der Waferoberfläche, wobei die Dicke präzise im Nanometerbereich gesteuert wird.

Schlüsselvorteile: Hohe Beschichtungsgleichmäßigkeit, Vermeidung von Rand-dick-und-Mitte-dünn-Defekten der Spin-Beschichtung, Erfüllung der Anforderungen fortschrittlicher Prozesse.

Hohe Fotolackausnutzung, Reduzierung des Materialabfalls um mehr als 50 % im Vergleich zur Spin-Beschichtung, Senkung der Produktionskosten.

Geeignet für großformatige Wafer (z. B. 12 Zoll und größer) und komplexe Oberflächengeometrien, was zu einer stärkeren Beschichtungskonsistenz führt.

Was ist der Parameter der Sprühdüse?

Haben Sie Bilder der Sprühdüse?

Ultraschall-Nano-Zerstäubung nutzt Ultraschallenergie, um Flüssigkeiten in Nanopartikel umzuwandeln. Sie hat weit verbreitete Anwendungen in medizinischen und industriellen Bereichen. Im Folgenden finden Sie eine detaillierte Beschreibung:

Prinzip
Im medizinischen Bereich: Ein Ultraschallgenerator erzeugt typischerweise Hochfrequenzstrom, der von einem Ultraschallwandler in Ultraschallwellen umgewandelt wird. Dieser Strom wirkt dann über eine Ultraschallmembran am Boden des Zerstäubers auf die Flüssigkeit und zerlegt das Medikament in feine Partikel. Schließlich transportiert die vom Luftzufuhrgerät erzeugte Luft den Medikamentennebel zur Inhalation zum Patienten.
Im industriellen Bereich: Eine Ultraschalldüse wandelt hochfrequente Schallwellen in mechanische Energie um, die auf die Flüssigkeit übertragen wird und stehende Wellen erzeugt. Die Flüssigkeit wird dann durch die Düse zur Zerstäubungsoberfläche geleitet. Beim Austritt aus der Zerstäubungsoberfläche wird die Flüssigkeit in einen gleichmäßigen Nebel von mikrometergroßen Tröpfchen zerlegt, wodurch eine Zerstäubung erreicht wird.

Merkmale
Feine und gleichmäßige Partikel: Die erzeugten zerstäubten Partikel haben typischerweise einen Durchmesser von 1 bis 5 Mikrometern, bleiben lange in der Luft suspendiert und sind relativ gleichmäßig verteilt. Im medizinischen Bereich hilft dies, eine bessere Abgabe an die unteren Atemwege und die Lunge zu gewährleisten. Im industriellen Bereich kann dies hoch gleichmäßige dünne Schichten im Submikrometer- und Nanometerbereich erzielen. Hohe Effizienz und Energieeinsparung: Die Flüssigkeit wird durch Schwerkraft oder eine Niederdruckpumpe zur Sprühdüse transportiert, wodurch eine kontinuierliche oder intermittierende Zerstäubung erreicht wird. Dieser Prozess ist verstopfungsfrei, verschleißfrei, geräuschlos, drucklos und hat keine beweglichen Teile. Für die Zerstäubung wird kein Kühlwasser benötigt, was zu einem geringen Energieverbrauch führt.

Material und umweltfreundlich: Der ununterdruckte, langsam sprühende Strahl ist leicht zu kontrollieren, und die Tröpfchen landen auf dem Substrat, anstatt von ihm abzuprallen, was den Overspray erheblich reduziert, erhebliche Materialeinsparungen ermöglicht und die Umweltauswirkungen reduziert.

Hohe Steuerbarkeit: Präzise steuerbarer Zerstäubungsfluss, kontinuierliches Sprühen mit geringem Durchfluss und leicht zu kontrollierende und zu formende Sprühbilder machen es für industrielle Anwendungen geeignet. Durch Kombination kann das Zerstäubungsvolumen an jede Anforderung des Benutzers angepasst werden. Anwendungen
Medizinisch: Zum Beispiel verwenden ophthalmische Ultraschall-Zerstäubungsgeräte diese Technologie, um Medikamente in nano-große zerstäubte Partikel zur Behandlung von trockenen Augen und Blepharitis zu zerlegen. Diese Technologie fördert die Absorption, lindert Symptome trockener Augen und verbessert die periokulare Mikrozirkulation. In der Atemwegsmedizin kann die nanoblasenunterstützte Ultraschall-Zerstäubungstechnologie Medikamente und Nanoblasen direkt in feine Aerosole zerstäuben, was die Ablagerung in der Lunge erhöht und zur Behandlung von Erkrankungen wie Lungenzysten eingesetzt wird.

Industriell: Anwendungen umfassen Brennstoffzellen, dünnschichtige Photovoltaikzellen, dünnschichtige Solarbeschichtungen, Perowskit-Solarzellen, Graphenbeschichtungen, Glasbeschichtungen und elektronische Schaltungen, die hoch gleichmäßige dünne Schichten im Submikrometer- und Nanometerbereich ermöglichen.

Landschaftsgestaltung: In Landschaftsgärten und Geschäftsräumen können Ultraschall-Zerstäubungsmodule einen Nebel-Effekt erzeugen, der die Luftfeuchtigkeit erhöht und das innere Mikroklima verbessert. Sie können auch mit Lichteffekten kombiniert werden, um ein spektakuläres, farbwechselndes Nebelspektakel zu erzeugen.

Wie schneiden Ultraschall-Sprühdüsen im Vergleich zu herkömmlichen Sprühdüsen in Bezug auf die Effizienz ab?
Ultraschall-Sprühdüsen übertreffen herkömmliche Sprühdüsen in der Gesamteffizienz, insbesondere bei hochpräzisen Beschichtungsszenarien wie der Fotolackanwendung.

Kern-Effizienzvorteile von Ultraschall-Sprühdüsen

Höhere Materialausnutzung: Sie zerstäuben Fotolack in gleichmäßig große Mikro-/Nanotröpfchen und reduzieren den Abfall um 30–60 % im Vergleich zu herkömmlichen Düsen (z. B. druckgetriebene Typen), die oft ungleichmäßige Tröpfchen oder Overspray erzeugen.
Überlegene Beschichtungsgleichmäßigkeit: Ultraschallvibrationen ermöglichen eine konsistente Tröpfchenverteilung und minimieren Dickenschwankungen (typischerweise innerhalb von ±5 % gegenüber ±10–15 % bei herkömmlichen Düsen), was Nacharbeiten reduziert und die Prozessausbeute verbessert.
Geringerer Energieverbrauch: Die Ultraschallzerstäubung basiert auf Hochfrequenzvibrationen anstelle von hohem Druck oder Luftstrom, wodurch der Energieverbrauch um 20–40 % gesenkt wird, während die Sprühleistung erhalten bleibt.

Einschränkungen im Vergleich zu herkömmlichen Düsen

Engere Anwendbarkeit für hochviskose Materialien: Herkömmliche Druckdüsen verarbeiten dickere Flüssigkeiten effektiver, während Ultraschalltypen am besten mit Fotolacken mit niedriger bis mittlerer Viskosität funktionieren.
Höhere Anfangskosten: Ultraschalldüsen haben eine höhere Anfangsinvestition, die sich jedoch durch langfristige Material- und Energieeinsparungen in der Massenproduktion ausgleicht.

Ultraschall-Sprühdüsen bieten mehrere Vorteile gegenüber herkömmlichen Sprühdüsen in Bezug auf die Effizienz. Hier sind einige wichtige Vergleichspunkte:

1. Zerstäubungseffizienz: Ultraschall-Sprühdüsen sind sehr effizient bei der Zerstäubung von Flüssigkeiten in feine Tröpfchen.

2. Reduzierter Overspray: Herkömmliche Sprühdüsen erzeugen oft einen erheblichen Overspray, d. h. den Verlust von Flüssigkeit, die nicht das beabsichtigte Ziel erreicht.

3. Beschichtungsqualität: Ultraschall-Sprühdüsen sind besonders vorteilhaft bei Anwendungen, bei denen eine hochwertige Beschichtung erforderlich ist.

4. Materialeinsparungen: Aufgrund ihrer effizienten Zerstäubung und des reduzierten Oversprays können Ultraschall-Sprühdüsen zur Einsparung von Materialkosten beitragen.

5. Vielseitigkeit: Ultraschall-Sprühdüsen können eine breite Palette von Flüssigkeiten verarbeiten, darunter wasserbasierte Lösungen, Lösungsmittel, Suspensionen und viskose Flüssigkeiten.

Es ist erwähnenswert, dass herkömmliche Sprühdüsen in bestimmten Szenarien ihre eigenen Vorteile haben, wie z. B. bei Anwendungen mit hohem Durchfluss oder in Situationen, in denen größere Tröpfchen gewünscht werden. Die Wahl zwischen Ultraschall-Sprühdüsen und herkömmlichen Sprühdüsen hängt von den spezifischen Anforderungen der Anwendung und dem gewünschten Ergebnis in Bezug auf Effizienz, Beschichtungsqualität und Materialeinsparungen ab.

Können Sie Beispiele für Branchen oder Anwendungen nennen, in denen Ultraschall-Sprühdüsen häufig verwendet werden?

 

Ultraschall-Sprühsystem
Die Ultraschall-Sprühvorrichtung verfügt über eine Selbstreinigungsfunktion, die eine Verschmutzung der Innenwand der Blutentnahmeröhrchen während des Sprühvorgangs vermeiden kann und auch die Verschmutzung der eigenen Düse vermeiden kann und im Zyklus gesprüht und verwendet werden kann. Das Ultraschall-Sprühsystem kann die Anzahl, Entfernung, Dicke und andere Parameter des Sprühens programmieren, um die Genauigkeit des Sprüheffekts zu gewährleisten. Ultraschall-Sprühvorrichtungen können Rohmaterialien sparen, und die Ausnutzungsrate der Rohmaterialien beträgt bis zu 85 %. Industrielle Ultraschallzerstäuber können leicht in bestehende Produktionslinien nachgerüstet werden, um effizientes Sprühen mit konsistenter Qualitätsleistung zu erzielen.

Als industriell bewährte Technologie wird das Ultraschall-Sprühen erfolgreich auf Hochleistungs-Dünnschichtbeschichtungslinien bei der Herstellung von Präzisionselektronik wie Halbleitern, Präzisionsgeräten, Nanotechnologieanwendungen, Brennstoffzellen und Solarzellen angewendet. Beim Ultraschall-Sprühen können die Größe und Verteilung der Tröpfchen präzise gesteuert werden, was zu Partikeln mit einer hohen Oberfläche führt.

Können Sie das Arbeitsvideo der Sprühdüse bereitstellen?