Herkunftsort:
CHINA
Markenname:
RPS-SONIC
Zertifizierung:
CE
Modellnummer:
RPS-WH-100
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Neues Ultraschall-Spray-Düsenbeschichtungssystem für Biosensor
Was ist die Ultraschallsprühdüse?
Ultraschall-Biosensor-Spraying ist eine Schlüsseltechnologie, die bei der Herstellung von Biosensoren eingesetzt wird.Im Folgenden finden Sie eine ausführliche Einführung:
Funktionsprinzip
Die Ultraschallsprühtechnologie verwendet einen piezoelektrischen Wandler, um hoffrequente Schallwellen in mechanische Energie umzuwandeln und die Flüssigkeitsbeschichtung in winzige Tröpfchen zu atomisieren.Diese Tropfen werden dann gleichmäßig über ein Trägergas auf die Oberfläche des Biosensor-Substrats aufgetragen., die eine Beschichtung oder eine dünne Folie bilden.
Technische Vorteile
Hohe Präzision und Einheitlichkeit: Parameter wie Tropfengröße, Sprühgeschwindigkeit und Beschichtungsdicke können präzise gesteuert werden, um eine einheitliche Beschichtungsverteilung auf der Biosensoroberfläche zu gewährleisten.Auf diese Weise wird die Sensorempfindlichkeit und Stabilität verbessert.
Verstopfungsfrei und hohe Leistung: Ultraschallsprühen zerstreut die Beschichtung gleichmäßig und beseitigt damit die Verstopfungsprobleme, die bei herkömmlichen Sprühen auftreten können.Diese Technologie bietet eine hohe Übertragungsleistung, wodurch die Beschichtungsabfälle reduziert und die Produktionskosten gesenkt werden.
Materialkompatibilität: Das Ultraschallsprühen ist mit einer Vielzahl von Substraten und Beschichtungen kompatibel, einschließlich der empfindlichen Elemente und Wandlermaterialien, die häufig in Biosensoren verwendet werden.Es kann gleichmäßig auf komplexe Oberflächen gesprüht werden, die unterschiedlichen Anforderungen an die Beschichtungsleistung von Biosensoren erfüllen.
Protein-Erkennungssensoren: Titandioxid-Nanofasern und Goldnanopartikel werden auf der Elektrodenoberfläche abgeschieden, um die Adsorptionskapazität und die elektrochemische Aktivität von Biomolekülen zu erhöhen.Verbesserung der Sensorempfindlichkeit und Detektionsstabilität.
Enzymsensoren: Kohlenstoffnanoröhrchen und Polymerverbundstoffe werden abgelagert, um die Stabilität von Enzymen und die Reaktionszeit auf Zielmoleküle zu verbessern und so die Lebensdauer der Sensoren zu verlängern.
DNA-Sensoren: Silbernanopartikel und Titandioxid-Nanofasern werden abgelagert, um die Leitfähigkeit und die Oberflächenaktivität der Sensorelektroden zu erhöhen.Verbesserung der Empfindlichkeit und Spezifität der DNA-Sequenzerkennung.
Umweltverschmutzungsdetektoren: Umfangreich zur Ablagerung von Zinkoxidnanostrukturen eingesetzt, erhöhen sie die Empfindlichkeit und Selektivität des Sensors für Schwermetallionen und organische Schadstoffe,die Echtzeitüberwachung von Umweltverschmutzungen ermöglicht.
Was ist der Parameter der Sprühdüse?
Artikel | Breitformat | Diffuser Typ | Bündelungsart | lange Düse | Außenflüssigkeitszufuhr |
Durchmesser des atomisierten Partikels | 15 bis 40 | 15 bis 41 | 15 bis 42 | 15-20 | 15-20 |
Sprühbreite (um) | 40 bis 120 | 40 bis 80 | 2 bis 20 | 1-3 | 0.5-2 |
Sprühhöhe (um) | 50 bis 150 | 30 bis 80 | 10 bis 30 | 10-20 Jahre | 10-20 Jahre |
Durchfluss (ml/min) | 0.5 bis 20 | 0.5 bis 20 | 0.5 bis 10 | 0.5 bis 10 | 0.01-1 |
geeignete Viskosität (cps) | < 30 | < 30 | < 30 | < 15 | < 15 |
Partikelgröße in Flüssigkeit (um) | < 20 | < 15 | < 10 | < 8 | < 8 |
Ablenkungsdruck (mpa) | < 005 | < 005 | < 005 | / | / |
Haben Sie die Sprühdüsenfotos?
Vorteile
Die Ultraschallbeschichtung von Siliziumwafern mit einem Lackiergerät umfasst mehrere Schritte und Grundsätze.
1. Überblick über Ultraschallbeschichtung
Ultraschallbeschichtung verwendet hoffrequente Schallwellen, um flüssigen Photoresist in feine Tröpfchen zu atomisieren. Diese Technik sorgt für eine gleichmäßige Verteilung des Beschichtungsmaterials auf der Waferoberfläche.
2. Komponenten der Ausrüstung
Ultraschallwandler: Umwandelt elektrische Energie in Ultraschallwellen, die Vibrationen in der Flüssigkeit erzeugen.
Sprühdüse: Entworfen, um den atomisierten Photoresist auf die Wafer zu dispergieren.
Steuerungssystem: Verwaltet Parameter wie Sprühflussrate, Frequenz und Beschichtungsdicke.
3. Vorbereitungsschritte
Waferreinigung: Stellen Sie sicher, dass Siliziumwafer gründlich gereinigt werden, um Verunreinigungen zu entfernen, die die Haftung beeinträchtigen könnten.
Auswahl des Photoresistents: Wählen Sie den geeigneten Typ des Photoresistents anhand der gewünschten Anwendung und Spezifikationen.
4. Beschichtungsprozess
Einrichtung: Stellen Sie die Siliziumwafer sicher auf die Beschichtungsplattform.
Aufladen des Photoresistents: Füllen Sie die Sprühpistole mit dem ausgewählten photoresistenten Material.
Ultraschallaktivierung: Aktivieren Sie den Ultraschallwandler, um Hochfrequenzvibrationen zu erzeugen.
Sprühen: Die Düse spritzt den atomisierten Photoresist auf die Wafer. Die Ultraschallwellen tragen dazu bei, eine gleichmäßige Tropfengröße für eine gleichmäßige Beschichtung zu erhalten.
Kontrollparameter: Einstellungen wie Sprühwinkel, Abstand zur Wafer und Beschichtungsgeschwindigkeit anpassen, um die gewünschte Dicke und Gleichmäßigkeit zu erreichen.
5. Verfahren nach der Beschichtung
Trocknen: Lassen Sie die beschichtete Wafer entweder durch natürliche Verdunstung oder mit einer heißen Platte richtig trocknen.
Backen: Führen Sie ein weiches Backen durch, um Lösungsmittel zu entfernen und die Haftung zu verbessern.
Inspektion: Überprüfen Sie die beschichtete Wafer auf Einheitlichkeit und Defekte.
6Vorteile der Ultraschallbeschichtung
Einheitliche Dicke: Gewährleistet eine gleichbleibende Beschichtung über die gesamte Waferoberfläche.
Verringerte Materialabfälle: Eine effiziente Atomisation minimiert den überschüssigen Gebrauch von Photoresisten.
Vielseitige Anwendungen: Geeignet für verschiedene photoresistente Materialien und Wafergrößen.
Schlussfolgerung
Ultraschallbeschichtung ist eine wirksame Methode zur Anwendung von Photoresisten auf Siliziumwafer, die Präzision und Effizienz in der Halbleiterherstellung und verwandten Bereichen verbessert.
Wie verglichen sich Ultraschallsprühdüsen mit herkömmlichen Sprühdüsen hinsichtlich der Effizienz?
Ultraschallsprühdüsen bieten im Vergleich zu herkömmlichen Sprühdüsen in puncto Effizienz mehrere Vorteile.
Effizienz der Atomisation: Ultraschallsprühdüsen sind sehr effizient darin, Flüssigkeiten in feine Tröpfchen zu atomisieren.
Verringerte Übersprühung: Traditionelle Sprühdüsen erzeugen oft eine erhebliche Menge an Übersprühung, was auf den Flüssigkeitsverlust hindeutet, der das beabsichtigte Ziel nicht erreicht.
Beschichtungsqualität: Ultraschallsprühdüsen sind in Anwendungen, in denen eine hochwertige Beschichtung erforderlich ist, besonders vorteilhaft.
Materialersparnis: Aufgrund ihrer effizienten Atomisation und geringerer Übersprühung können Ultraschallsprühdüsen dazu beitragen, Materialkosten zu sparen.
Vielseitigkeit: Ultraschallsprühdüsen können mit einer Vielzahl von Flüssigkeiten umgehen, darunter wasserbasierte Lösungen, Lösungsmittel, Suspensionen und viskose Flüssigkeiten.
Es ist erwähnenswert, dass herkömmliche Sprühdüsen in bestimmten Szenarien ihre eigenen Vorteile haben, wie beispielsweise bei Anwendungen mit hohem Durchfluss oder Situationen, in denen größere Tröpfchen gewünscht werden.Die Wahl zwischen Ultraschallsprühdüsen und herkömmlichen Sprühdüsen hängt von den spezifischen Anforderungen der Anwendung und dem gewünschten Wirkungsgrad ab., Beschichtungsqualität und Materialersparnis.
Können Sie Beispiele für Industriezweige oder Anwendungen nennen, in denen Ultraschallsprühdüsen häufig verwendet werden?
Ultraschallsprühsystem
Die Ultraschall-Sprühgeräte sind selbstreinigend und verhindern so eine Verschmutzung der Innenwand des Blutentnahmegeräts während des Sprühvorgangs.und kann auch die Kontamination der eigenen Düse vermeidenDas Ultraschallsprühsystem kann die Anzahl, die Entfernung, die Dicke und andere Sprühparameter programmieren.so dass die Genauigkeit des Sprüheffekts gewährleistet istUltraschallsprühgeräte können Rohstoffe sparen und die Verwertungsrate der Rohstoffe beträgt bis zu 85%.Industrielle Ultraschall-Atomisatoren können leicht in bestehende Produktionslinien für effizientes Sprühen mit gleichbleibender Qualität nachgerüstet werden.
Als industriell bewährte Technologie,Ultraschallsprühen wurde erfolgreich auf leistungsstarke Dünnschicht-Beschichtungslinien bei der Herstellung von Präzisionselektronik wie Halbleitern angewendetBei Ultraschallspritzungen können Größe und Verteilung der Tröpfchen genau gesteuert werden.die zu Partikeln mit großer Oberfläche führen.
Können Sie das Video der Sprühdüse liefern?
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